型号： Titan Themis3 G2 300

制造商： 美国Thermo Fisher公司（原荷兰FEI公司）

主要技术指标：

1. 具有聚光镜、物镜双球差校正器系统； 2. 具有电子枪单色器，电子枪加速电压60～300KV； 3. TEM点分辨率优于0.08nm，STEM信息分辨率优于0.07nm； 4. EDS能量分辨率136eV，有效探测面积120mm2； 5. EELS能量分辨率：0.25eV（2.5mm光阑）； 6. 具备三维重构数据采集与分析系统； 7. 拥有电子全息数据采集与分析系统。

型号： Talos F200S

制造商： 美国Thermo Fisher公司（原荷兰FEI公司）

主要技术指标：

1. 加速电压：20～200kV； 2. 束斑尺寸：最小束斑0.3nm； 3. 分辨率：TEM信息分辨率≤0.12nm；点分辨率≤0.25nm；STEM分辨率0.16nm； 4. 放大倍数：TEM下25～1.05M倍；STEM下150～230M倍； 5. EDS能量分辨率≤136eV(Mn-Ka)； 6. 具备三维重构数据采集与分析系统。

型号： JEM-2100F

制造商： 日本电子株式会社（JEOL）

主要技术指标：

1. TEM分辨力：0.23nm（点），0.102nm(晶格)； 2. STEM分辨力：0.20nm（晶格）；最小束斑尺寸：0.5nm； 3. 放大倍数：TEM下50～1100万倍，STEM下100～1100万倍； 4. 加速电压：160～200kV； 5. EDSX射线能量分辩力：132eV； 6. 元素分析范围：B－U；分析感量：10-14～10-21g。

型号： Zeiss Ultra Plus

制造商： 德国卡尔·蔡司股份公司

主要技术指标：

1. 二次电子像分辨率：1.0nm（15kV），1.9nm（1kV）； 2. 电子枪：LaB6热场发射电子枪； 3. 加速电压：0.1～30kV； 4. 束流范围：12-12～10-7A； 5. 图像放大倍数：12～1000,000×（二次电子像），100～1000.000×（背散射电子像）。 附件： 1. X-Max 50型电致冷X射线能谱仪（EDS）（英国牛津仪器分析有限公司）； 2. HKL Max电子背散射衍射仪（EBSD）。